ใช้ศึกษารายละเอียดองค์ประกอบภายในของตัวอย่าง เช่น องค์ประกอบภายในเซลล์ โครงสร้าง ผลึกของวัสดุ ฯลฯ สามารถแจกแจงรายละเอียดของภาพแบบลายเส้นได้ 0.2 นาโนเมตรหรือดีกว่า มีกำลังขยายได้ต่ำสุด 50 เท่า สูงสุดได้ไม่น้อยกว่า 800,000 เท่า ความต่างศักย์เร่งปรับได้ตั้งแต่ 10-120 กิโลโวลต์