หัววัดเป็นแบบสัมผัสผิววัสดุด้วยแรงกด 1 มิลลินิวตัน (100 มิลลิกรัม) ระยะทำงาน 50 มิลลิเมตร อัตราเคลื่อนที่ขณะวัด 0.5 และ 1 มิลลิเมตรต่อวินาที ± 5% ประมวลผล Surface Finish Parameters ได้แก่ Primary (Profile) Parameter, Roughness Parameter, Waviness Parameter, R+W Parameter